刘晋允，赵世柯，梁晓峰，于文杰，魏晶慧，于海兵，汪 洋

（1.中国电子科技集团公司第十二研究所，北京 100015；2.普发真空技术（上海）有限公司，上海 200127）

0 引言

空间行波管是卫星通讯系统中重要的功率放大器件，广泛应用于卫星通讯、导航定位、微波遥感等领域[1-2]。由于产品在空间的不可维护性，保证空间行波管具有极低的漏率成为实现其高可靠、长寿命的必要条件。四极质谱仪是利用四极杆电场对不同质荷比离子的筛选作用，实现质量分离，具有高灵敏度、高分辨率、体积小、质量轻的优点。通过监控示漏气体离子流，四极质谱仪可用于漏率小于10-12Pa·m3/s的超灵敏度检漏[3-4]。目前一般商用检漏仪检漏下限为5×10-13Pa·m3/s，清华大学在2003年研制出我国第一台灵敏度为10-15Pa·m3/s的检漏仪[5]，2017年卢耀文等[6-7]研制出下限为10-16Pa·m3/s的检漏仪。然而，在空间行波管实际生产过程中，尽管所有零部件均通过了检漏，但因空气中的水气、尘埃等常导致微小漏孔发生堵塞现象[8]，使得用再高灵敏度的仪器也无法检出漏孔。另外，在电真空器件高温排气过程中，有缺陷的材料、焊缝等经长时间烘烤后，也会发生漏气。所以在电真空器件封离前，进行超灵敏度检漏是非常重要的[9-12]。

本文结合空间行波管的实际生产过程，在排气台上测试四极质谱仪的检漏性能。期望为实现空间行波管的高可靠、长寿命提供保障。

1 排气系统

整管排气是空间行波管封离前的最后一道工序，器件经高温烘烤使得在封离时内部压力达到超高真空10-8～10-7Pa。……