曾子浩

（中国矿业大学（北京），北京 100083）

1 玻璃模压成形技术的应用

随着现代科学技术的不断进步，各种光学系统和光电复合系统的应用范围和使用量不断扩大，小尺寸光学透镜、光学微透镜阵列等光学元件在CCD制造[1]、红外焦平面制造[2]、仿生复眼制造[3]、全景成像技术[4]、光纤集成[5,6]等其他越来越多的领域得到了广泛应用[7]，因此其需求量也与日俱增。光学微透镜阵列对制造工艺的要求很高。传统的机械加工技术存在加工周期长、效率低等缺点[8,9]；而光刻技术[10,11]、LIGA技术[12-14]和“三束”加工技术[15-17]以及其他先进加工技术[18]又普遍存在着设备和加工成本高、效率低、一致性差等缺陷。而光学材料模压成形技术具备加工周期短、效率高、成本低等优点，且能够适应光学玻璃这一高性能且难以加工的光学材料，对于光学透镜和光学微透镜阵列的制造技术的发展有着不可替代的作用，玻璃模压成形系统是该技术的核心，因此光玻璃模压成形系统得到了广泛的研究和关注。

2 玻璃模压成形系统简介

玻璃模压成形系统可主要分为单工位玻璃模压成形系统和多工位玻璃模压成形系统两大类，单工位玻璃模压成形系统只有一个工位，加热、模压、退火、冷却等不同工序均在这一个工位上完成。单工位玻璃模压成形系统的生产周期长、效率低，因此主要用于小批量的光学玻璃元件的模压成形生产。多工位玻璃模压成形系统具备多个工位，模具和玻璃预形体在这些不同工位上依次完成加热、模压、退火、冷却等工序。……