高导热金刚石/铝复合材料的真空热压制备 *
2021-05-25沈维霞范静哲张壮飞黄国峰黎克楠
徐 洋, 沈维霞, 范静哲, 侯 领, 张壮飞, 黄国峰, 黎克楠
(1. 包头师范学院 物理科学与技术学院, 内蒙古 包头 014030) (2. 郑州大学 物理学院(微电子学院), 材料物理教育部重点实验室, 郑州 450052) (3. 赤峰学院, 内蒙古自治区高压相功能材料重点实验室, 内蒙古 赤峰 024000) (4. 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司, 超硬材料磨具国家重点实验室, 郑州 450001)
随着电子设备的小型化,芯片功率密度也随之增加,对电子封装材料的散热要求也愈发严格[1-2]。因此,需要使用先进的热管理材料(高导热、低热膨胀)来有效提高电子器件的稳定性和可靠性。电子封装材料经历了第一代因瓦合金(Invar)、可伐合金(Kovar)其热导率在10~20 W/(m·K);第二代以钨-铜合金、钼-铜合金为主,其热导率在150~230 W/(m·K);第三代以导热陶瓷颗粒(单质硅、碳化硅)增强的铝基复合材料为主,其导热率提高到250~300 W/(m·K)[3]; 第四代为以金刚石作为导热填料的铝、铜基导热材料,其热导率达到400~900 W/(m·K)[4]。与铜、银等其他金属相比,金属铝在具有高导热(237.0 W/(m·K))的同时还具有低密度、储量丰富、价格低廉等优势。因此,高导热金刚石/铝复合材料是极具有发展潜力的封装材料,在功率器件、电子工业、航空航天等方面得到了广泛应用[5-8]。
由于金刚石内部特殊的sp3成键结构,其热导率可达1 500~2 000 W/(m·K)。因此,可以通过金刚石颗粒弥散强化金属基体,实现热量传输消散,进而调控复合材料热膨胀系数来提升导热材料的热导率。
近年来,利用放电等离子体烧结(SPS)法、气压溶渗(GPI)法、高温高压(HPHT)法,均制备出高性能金刚石/铝复合材料[9-17]。……
