刘海旭， 武庆东， 曹潇俊， 祁婉婷， 苏建修

(河南科技学院 机电学院， 河南 新乡 453003)

柔性显示器具有超薄、质量小、耐用、设计自由，可挠曲、可收卷和耐冲击等性能[1]，广泛适用于移动电话、笔记本电脑、商标、安全身份文件、电子书、电子海报、环境显示、机器人感觉皮肤等工业、民用及军事行业[2]。柔性显示器以柔性材料为衬底，对柔性衬底的表面质量及性能要求非常严格，如表面粗糙度须小于5 nm，波纹度小于0.1 μm，且热稳定性高、轻质高强度，超薄、高柔性和韧性等。不锈钢材料具备柔性衬底所需的性能且成本低廉, 将成为未来柔性大尺寸显示器衬底的主要材料[3-4]。但超薄不锈钢片的加工质量和精度，将直接影响到其制作的器件的性能[5]。当超薄不锈钢片表面有微小缺陷时，会遗传给外延生长膜而成为器件的致命缺陷[6]。因此，如何高效地加工出高质量、高精密的大尺寸柔性显示器衬底满足现在和未来柔性显示器的要求，是柔性显示产业发展的当务之急。

国内外众多学者对不锈钢表面的抛光技术进行了大量深入的研究，其主要抛光方法有：机械抛光、化学抛光、电化学抛光(也称电抛光或电解抛光)及电化学机械抛光等。机械抛光、化学抛光、电化学抛光后的表面粗糙度往往达不到要求，且损伤层深[7-12]；不锈钢电化学机械抛光加工装置复杂，受电流流动特性影响，表面质量也难以控制[13]。

化学机械抛光(CMP)技术被认为是目前能兼顾表面粗糙度和表面平整度要求的最好的抛光方法，已成为硬脆性晶体材料实现其表面超光滑无损伤加工的最实用技术之一，并已广泛应用于超大规模集成电路、半导体照明等领域[14]。……