（晶澳太阳能有限公司，河北邢台 055550）

0.引言

太阳能资源丰富，是洁净的一次能源及无污染的可再生能源。近年来，晶硅太阳电池取得了一系列新突破、新成果，光伏产业化及持续研发日新月异。先进技术不断向产业扩散，大大降低了太阳能光伏的发电成本。当前环保需求日趋严峻，在国家政策对太阳能光伏行业扶持的下、在行业提效降本的核心宗旨下，技术进步已成为降低太阳能光伏发电成本、提高转换效率、促进晶硅太阳电池发展的重要因素。

在太阳能电池的众多参数中，发射极[1]是最能影响转换效率的因素之一，SE+PERC高效电池是其中最典型的产业化应用，图1为SE+PERC高效电池制备工艺流程示意图。

图1 SE+PERC单晶硅太阳电池制备工艺示意图

选择性发射极(SE, selective emitter,)晶硅太阳电池，即在金属栅线与硅片接触部位进行高浓度掺杂，在电极以外的区域进行低浓度掺杂。这种结构设计，通过选用功率小、成本低的波长532nm绿光激光器来实现，对扩散后硅片按照既定图形进行扫描掺杂，利用激光能量对扩散磷硅玻璃层熔融形成金属化重掺区域，既降低了硅片基体与正面金属电极间的接触电阻，又降低了表面扩散层的复合[2]，提高光线的短波响应，使得短路电流、开路电压及填充因子都得到较好的改善，从而转换效率得到提升。

本文在保证太阳电池转换效率及和良品的前提下，主要研究SE激光掺杂工艺条件及窗口优化，分析激光功率对硅片表面微观损伤[3]、光斑间距掺杂效果及光斑大小等与转换效率的关系，寻找提升电池效率的方案。……