电力系统的这颗国产“芯”脏,突破了四大技术瓶颈
2021-04-17
网信军民融合 2021年7期
关键词:工艺
近日,国务院国资委向全社会发布《中央企业科技创新成果推荐目录(2020年版)》,包括核心电子元器件、关键零部件、分析测试仪器和高端装备等共计8个领域、178项科技创新成果。全球能源互联网研究院有限公司(以下简称联研院)研制的3300伏特(V)绝缘栅双极型晶体管(IGBT)芯片和模块赫然在列。历时4年,联研院攻关团队突破了制约国内高压IGBT发展坚固性差、可靠性低等技术瓶颈,打破了国外技术垄断。
日前,该团队牵头承担的国家重点研发计划项目“柔性直流输电装备压接型定制化超大功率IGBT关键技术及应用”通过了工业和信息化部组织开展的综合绩效评价。项目自主研制出满足柔性直流输电装备需求的4500V/3000A低通态压降和3300V/3000A高关断能力IGBT器件,解决了高压大容量压接型IGBT芯片和器件缺乏的问题。
“当前,研发面向电力系统应用的高压IGBT器件的技术瓶颈主要有4个方面,一是高压芯片用高电阻率衬底材料制备技术,大尺寸晶圆的掺杂均匀性和稳定性难以满足高压IGBT和FRD芯片开发需求;二是高压芯片关键工艺能力不足,提升芯片性能的高端工艺加工能力欠缺,无法满足电力系统用高压IGBT芯片的加工需求;三是封装设计体系和工艺能力难以满足高压器件封装需求,尤其是压接型器件封装,在封装绝缘体系、多芯片并联均流和压力均衡控制方面研究不足;四是高压IGBT器件的整体可靠性和坚固性与国外先进水平相比存在差距,未经电力系统装备和工程长期应用的考核验证。……
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