张 婷，周兴林，朱 攀，王 圣

（武汉科技大学，湖北 武汉 430031）

1 引言

随着信息技术的不断发展，现代科学研究的重要作用已被人们充分认知，但是传统传感器的信息的获取方法已经满足不了目前市场及工业的需要，为了提高信息的准确性，就更需要采用合适结构尺寸的功能材料。压电材料是一种具有压电及铁电性能的功能材料，并在检量各种物理量变化中展现出了良好的传感特性，如在测量应力应变[1-2]、加速度[3-4]、振动[5]、冲击载荷、声波[6]等信息中。其中PZT 压电薄膜是一种重要的压电功能材料，由于该材料体积小，重量轻，具有柔性，工作电压低广泛应用于微传感器和能量转换技术[7]领域中。从20 世纪90 年代至今都是国内外科学工作者的重视是当下研究热点之一。

目前为了实现工业自动化以及智能化，其中，力学传感器是必不可少的一种传感器，它是工程检测和运动控制的基础。然而目前大多现有的力学传感器都存在复杂的结构、灵敏度也较低，工作频率较低，输出力小，工作电压高电路兼容性差结构复杂，不能测量曲面接触力等问题，PZT 压电薄膜传感器弥补了这些缺点并具有兼有一定的柔性易安装，也可与后续的采集电路集成满足了微型化小型化的要求。根据国内、外的研究，提出了一种新型PZT 压电薄膜柔性应力传感器结构，兼有柔性和可测量曲面接触应力面的特征信息的特征，结构较简单，可适用于各种复杂结构的曲面接触应力的测量。……