趋势与展望

AlN 单晶衬底的制备及研究进展..............................................................................................................齐志华3-1

时尚预测对产业装备设计的辅助作用研究..................................................................孙 斐，陆定邦，崔成强5-1

浅谈我国智能制造的发展建议..................................................................................................................柯建波6-1

半导体制造工艺与设备

接触/接近式光刻UV-LED 光源测试分析与工艺研究........................................陈 威，党景涛，王 河，等1-1

碲锌镉晶片双面磨抛加工表面损伤层研究..................................................................张文斌，郭 东，葛劢翀1-5

液相外延设备温度控制系统研究............................................................................李 瑫，程文进，黄志海，等1-8

低温探针台液氮管路保冷设计与应力分析................................................................贾月明，刘路宽，高 岳1-12

基于模糊PID 控制的晶圆精密磨削控制系统.......................................................杨生荣，王克江，白 阳，等2-1

线形同轴耦合微波等离子体系统仿真研究............................................................彭宜昌，吴易龙，徐 伟，等2-5

磁控溅射台镀膜形貌及均匀性改善研究.....................................................................解 晗，张春胜，申 强2-8

基于双频电源的PECVD 沉积设备设计与仿真...................................................龙长林，周立平，陈国钦，等2-12

离子注入机分析器模型的自动调束控制方法............................................................孙 勇，钟新华，杨亚兵2-15

基于仿真分析的设备微环境控制技术....................................................................杨 师，史 霄，杨元元，等3-8

基于数字孪生的设备预测性维护模式研究...........................................................................................张 蕾3-12

CMP 干燥模组控制软件设计................................................................................杨 旭，杨元元，王嘉琪，等3-16

自动称重系统在全自动硅片上下料机的应用........................................................................................剌颖乾3-21

锗片表面钝化探究进展................................................................................................杨 静，韩焕鹏，张伟才4-27

晶片双面磨抛压力控制系统的研究.....................................................................孙莉莉，韦 薇，张争光，等4-31

离子束溅射沉积设备制备薄膜均匀性研究.........................................................陈国钦，袁祖浩，胡 凡，等4-35

气态氟化氢释放系统..................................................................................................................................庞克俭5-7

自动化离子注入设备控制系统的研究与设计............................................................周 波，佘鹏程，罗 超5-11

MOCVD 设备射频感……