毛文元，宋鹏云，邓强国，许恒杰，孙雪剑

(1.昆明理工大学机电工程学院，云南昆明650500；2.昆明理工大学化学工程学院，云南昆明650500)

螺旋槽是干气密封常用的端面槽形，其加工质量对于干气密封性能有着非常重要的影响。这是由于干气密封螺旋槽的槽深hg仅为5～10μm[1]，槽深加工精度不足难以达到预期的设计性能。槽底表面粗糙度Ra与槽深的量级相当，较大的槽底表面粗糙度对密封性能也会有明显的影响，一般需控制在0.8μm以下[2]。虽然现有的激光加工技术可将螺旋槽底表面粗糙度Ra控制在0.4～1.6μm[3]，但槽底表面会随着槽深的增大而变得粗糙，即槽深hg=10μm时，将槽底表面粗糙度Ra控制在0.8μm以下的难度也越大。因此，如何精确控制槽深和槽底表面的加工精度一直是干气密封螺旋槽激光加工所面临的一个难点，成为亟待解决的问题。

目前，激光加工常应用于微孔、微槽的制造[4-7]，而螺旋槽激光加工方面的研究仅见戴伟[8-9]、严拯宇[10]等对螺旋槽激光加工的方法进行了相关介绍，但未给出具体的工艺参数。张珊[11]、姚瑞龙[12]、刘萍萍[13-14]等则从工艺的角度，采用单因素、正交试验法或两者方法结合考察了激光工艺参数对螺旋槽加工质量的影响规律。在此基础上，作者[15]以槽深hg=10μm、槽底表面粗糙度Ra=0.8μm作为试验预定目标，利用单因素和正交试验法对碳化硅（SiC）和碳化钨（WC）两种材质密封环开展了螺旋槽加工工艺研究。结果表明：两种材质密封环的槽深均达到了hg=10μm的设定目标，但槽底表面粗糙度Ra均未能控制在0.8μm以下。……