林文浩，陈昱，夏曼，梁明光

（广东电网有限责任公司中山供电局，广东 中山 528400）

0 引言

现阶段，随着MEMS传感器技术的不断发展，MEMS传感器技术在各个领域得到了广泛运用。在具体应用过程中，技术人员要结合MEMS传感器技术应用实际，科学地进行具体分析，从而全面提高MEMS传感器技术应用研究水平。

1 MEMS传感器技术发展现状

我国在MEMS传感器研究方面的起步较晚，但研究成果较为可观，已经成为国际上重要的研究力量。目前，我国在MEMS传感器设计、测试、装配等多个环节实现了大跨度的提升，形成了具有自主知识产权的多项成果，并组建了代表我国先进MEMS/NEMS研发力量的团队，形成了专门的研发基地，在较短的时间内构建了微纳制造技术研发体系。这些措施促使我国在MEMS/NEMS方面的研究水平不断提升，技术竞争能力也持续加强。

近年来，我国参与MEMS/NEMS研发的企业已经超过200余家，大型集成电路的领军企业也参与到MEMS/NEMS的研发工作中，汽车等行业已经实现了MEMS/NEMS的代工生产，构建了设计、封装、测试等多个环节的全产业研发和生产链条[1]。

在我国的“十二五”计划中，与“工业用高端微纳传感器与系统研究开发”相关的课题有9个，目前这些课题均通过验收环节，这也为MEMS能量收集器方面的研究提供了基础。

未来，传感器的发展方向主要为无源化，以及材料的多元化和微型化，无线MEMS传感器系统可利用能量收集芯片收集其他形式的能源，从而完成能量的聚集与转化，最终实现无源化的应用。……