段 超，王会林，裴 蕾，孙 强，2，张晓伟，张 征，杨 栋

(1.洛阳中硅高科技有限公司,河南 洛阳 417023;2.中国恩菲工程技术有限公司,北京 100038)

多晶硅生产工艺目前主流工艺为改良西门子法,随着技术的不断优化升级,其工艺环节的优化节能,也变得更为复杂。多晶硅生产过程主要包括原料三氯氢硅的制备与提纯、三氯氢硅氢还原以及还原尾气的干法回收等。在整个生产过程中,主要的提纯系统及还原尾气系统需要利用冷却循环水系统对物料进行降温,以满足生产要求的参数指标。多晶硅生产过程的配套循环水系统一般分为开式循环水系统和闭式循环水系统,其主要的工艺流程及水质控制措施存在一定的差异。

1 开式循环水系统

1.1 工艺流程

开式循环水系统主要用在原料转化以及提纯、还原尾气冷却以及高温泵的冷却等对水质要求不高的生产工序,补水来源一般为工业软化水,也可直接使用河水、电厂中水等。多晶硅配套的开式循环水系统与其他工业行业的原理基本一致,其主要工艺部件包括循环水池、循环水泵、管路、用水设备、冷却塔及旁滤系统等,其设备连接件图见图1。

图1 开式循环水系统设备连接简图

用离心清水泵抽取循环水池中的循环水,增压后送入全厂地下循环水主管网,至原料、提纯、还原等车间,各车间的回水至厂区地下回水管网后直接送入位于循环水池上部的冷却塔进行冷却,冷却塔一般为机械能风机,如回水压力满足配置水能风机工艺条件的,应尽可能配置水能风机,以节约能耗;冷却塔采用填料式冷却塔,使回水经喷头至冷却塔内依托填料均匀分布,增大与空气的换热面积,以达到较好的冷却效果。……