岳 彬，汪潇雨，石晓康

（1.北京航空工程技术研究中心，北京100076；2.93121 部队，北京100720）

油气浓度检测报警系统检定校准装置（以下简称“检定校准装置”）属于本级计量器具，该装置与高浓度标准气体、稀释气体组成油气浓度检测报警系统现场检定装置，是一种智能化程度高、简单实用的便携式油气浓度检测报警系统现场检定装置[1]。油气浓度检测报警系统现场检定装置的工作原理就是通过检定校准装置，将高浓度标准气体和稀释气体充分混合，配制出符合检定校准工作要求的一定精度、浓度、流量的标准气体，进而检定评价被检油气浓度检测报警器的各项计量性能。

在检定校准装置中，气体质量流量控制器是决定油气浓度检测报警系统现场检定装置性能的关键。通过检定校准装置中质量流量控制器检测的各种参数，来控制高浓度的标准气体和纯净气体，尽可能地减少系统滞后性和系统的迟滞效应[2]，并提高质量流量控制器的响应速度[3]。目前众多质量流量控制器对滞后性的指标要求不高时，可以选用常用的质量流量控制器[4]。但是有高实时性和低滞后性需求的气体质量流量传感器，则会导致控制器的迟滞性，检定校准装置的性能和精度受到影响[5]。

本文针对这一问题，设计了一个采用一阶加纯滞后模型的质量流量控制器。它与常见的质量流量控制器的区别是，对质量流量控制器滞后性所引起的输入迟滞效应具有良好的抗性[6]。……