马泽贤，刘新宽, *，盛荣生，蔡磊，张伟伟

（1.上海理工大学材料科学与工程学院，上海 200093；2.盛利维尔(中国)新材料技术有限公司，江苏 常州 213200）

近年来，伴随着光伏产业以及半导体产业的飞速发展，高品质晶体材料需求量越来越大，催生着晶体切割技术的变革与发展。晶体切割也从原来的游离磨料切割逐步发展到固结磨料切割[1-2]，切割效率大大增加，切割崩碎现象也得到极大改善，切割成本大幅度降低。

电镀金刚石线锯是以钢丝为基础材料，以氨基磺酸镍为镀液主盐，在合适的电镀工艺下，采用复合镀的方法在钢丝基体上沉积一层金属镍，同时在金属镍中包裹金刚石粉颗粒，而制得的一种超硬材料锯切工具。其制作一般有以下工序：前处理(酸洗、碱洗)，预镀，上砂，加厚镀。电镀金刚石线锯具有耐磨性好、切割效率高、切口小、损耗少等优点[3]，现已被广泛应用于单晶硅、多晶硅、半导体、宝石等硬脆材料机加工领域。光伏行业为了追求降低硅片非硅成本[4]，电镀金刚石线锯从最开始线径在几百微米，发展到现在几十微米，细线化成为了必然趋势。但在生产中发现当线径降至60 μm以下时，在钢丝基体表面镀覆金刚石后，锯体脆性较大，弯折后易发生脆断现象，严重时脆断率达90%以上。生产排查发现，上砂阶段上砂量以及砂的团聚程度都会对脆断产生较大影响。本文采用正交试验，选取上砂阶段的几项重要参数，通过正交试验的方法得到上砂量和堆积直径均符合标准且脆性低的工艺参数。……