华能国际电力股份有限公司日照电厂 张昔国

加速度传感器在生活、生产、科研等活动中越来越常见，其应用的领域和场景非常多，如地质勘探和工程测量用的地震检波器，通过加速度传感器监测高压导线的舞动、汽车安全气囊、汽车防抱死系统、游戏控制、图像的自动翻转、电子指南针的校准、手环和手机中的计步器、拍照的防抖动功能、硬盘的跌落保护、火箭的管道系统、飞机的姿态检测等。加速度传感器或加速度计可分为两种：一种是角加速度计，由陀螺仪改进而来；另一种是线加速度计。这里讨论的加速度传感器就属于线加速度传感器（以下都称为加速度传感器）。加速度传感器的测量原理依据惯性原理来进行测量，根据牛顿第二定律F=M×A，F 为惯性力，M 为质量块的质量，A 为加速度。为得到加速度的实际值，只需要知道惯性力F 的大小即可。

1 加速度传感器的分类

图1 压阻式加速度传感器 原理图

加速度传感器依据其工作原理可分为压电式、压阻式、电容式、谐振式、伺服式、光学式、热对流式、隧道电流式等，在实际应用中压电式、压阻式、电容式加速度传感器比较常见，我们对这种三种原理的加速度传感器做简单介绍。

1.1 压阻式加速度传感器

压阻式加速度传感器的结构原理如图1所示，质量块固定在悬臂梁一端，悬臂梁另一端固定在传感器的基座上，悬臂梁上下通过应变电阻片组成惠斯通电桥。传感器安装到目标物上之后，传感器……