方孟翔刘文光冯逸亭陈红霞吴兴意胡剑波

(南昌航空大学航空制造工程学院，江西 南昌 330063)

压电驱动器因其输出位移大、灵敏度高、抗电磁干扰和断裂韧性强等优势，广泛应用于高应变材料精密定位、多层器件设计、便携式电子器件的大规模制造工艺、微型机器人的超声波电机和智能结构等领域[1－2]。 由于压电驱动器的工作与其振动特性密切相关，所以深入了解电压激励下压电结构的振动特性具有重要意义。

围绕压电驱动器的应用，研究者开展了大量的研究。 为抑制动态干扰对星光观测系统成像质量的影响，姜世平通过构建比例积分微分反馈控制，建立了基于压电驱动快反镜的星光跟踪控制系统[3]。以优化压电结构驱动性能为目标，Henry 等研究了柔性变形机翼上分布压电驱动器和机翼蒙皮间的最佳结构参数[4]。 采用最小二乘支持向量并设计内模控制器对压电驱动器进行动态建模，尚爱鹏等实现了对压电陶瓷驱动器的精密控制[5]。 应用旋转软体驱动器振动激励下的运动机理，徐聪等人提出了一种基于压电振动驱动的可旋转软体驱动器[6]。通过引入粒子群算法对模型参数进行优化，钱承等建立了压电驱动器频率相关的迟滞模型[7]。 利用低压驱动下的大位移和快速响应能力，Chen 等设计了一种环形阵列式压电驱动微透镜驱动器[8]。 通过引入核函数和损失函数，纪华伟等建立了一种新的压电陶瓷驱动器非线性模型，准确描述了压电驱动器的迟滞特性[9]。……