杨帅 毛海央 鲍爱达 郭鑫 李锐锐杨宇东 石梦 陈大鹏

1) (中北大学仪器与电子学院, 太原 030051)

2) (中国科学院微电子研究所, 集成电路先导工艺研发中心, 北京 100029)

3) (江苏创芯海微科技有限公司, 无锡 214001)

近年来, 以聚合物为代表的高分子材料由于具有比其他光吸收材料(如半导体材料、碳基材料以及贵金属纳米材料)更好的柔性和粘弹性而受到广泛关注.本文基于等离子体再聚合技术和磁控溅射工艺在聚合物材料层上制备了具有等离激元多重杂化效应的光吸收结构, 该结构具有宽谱高吸收特性.该结构的制备工艺简单易行, 对不同聚合物材料具有通用性, 在光学器件领域具有广泛的应用前景.

1 引 言

随着科技的不断发展, 人们对能源和环境质量的需求不断升高, 可再生能源之一—太阳能的开发和利用逐渐引起关注, 如太阳能蒸汽[1,2]、太阳能脱盐[3]、光催化[4]和太阳能电池[5−7]等的研究与开发.然而, 当前各研究领域对太阳能的利用率一直处于较低水平[8,9], 仍需要特定的光吸收材料或结构来捕获更多的光, 提高对太阳能的利用率.目前, 常用的光吸收材料包括半导体材料[10]、碳基材料[11,12]以及贵金属纳米材料等[13,14].其中, 半导体材料因其光电特性好而被广泛应用于光电探测领域中[15,16];碳基材料由于其来源广、成本低和光热转换效率高等优点被广泛应用于光热转换装置中[17]; 贵金属纳米材料因其纳米级尺寸而具有不同于块体材料的光学性质, 在催化、光……