孙开磊，甄占昌，张聪，姜楠

（火箭军工程大学，陕西 西安 710000）

氦质谱检漏设备是高精密真空检漏设备，其主要功用是对密封性要求较高部件进行检漏，原理是利用氦气作为探测气体检测被检部件的漏点或总漏率，有检漏精度高、氦响应快的优点，但是其结构与原理复杂，出现故障后排除难度大，日常使用中需要操作人员精细维护保养。

1 设备原理与组成

氦质谱检漏设备利用氦气作为示踪气体，如图1所示，仪器内部的离子源电子经加速进入电离室,在电离室内与残余气体分子和经被检件漏孔进入电离室的氦气相互碰撞，使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，在洛伦兹力作用下产生偏转，氦气最终经过电离、加速、聚焦全部收集到接收极，在接收极上表现为微弱的电信号，再经过放大器进行信号放大，电路处理转换，显示出漏率；检漏设备主要由机械泵、涡轮分子泵、质谱室及电子学控制模块组成，机械泵主要用来维持分子泵工作时所需要的前级真空及对被检件的预抽真空，涡轮分子泵则提供质谱室工作时所需要的高真空，质谱室完成氦气电离与检测，电子学控制模块主要完成对各系统的检测与数据处理。

2 常见故障分析与排除

氦质谱检漏设备在操作中会碰到诸多故障，下面把工作中的常见故障进行总结与分析。

（1）灯丝无法点亮。灯丝故障主要原因是离子源故障，离子源见图2，或者高真空故障，当离……