孙秋香, 卢慧粉, 宋庆军, 宋 鹏

(济宁半导体及显示产品质量监督检验中心, 济宁 272000)

扫描电镜分析是现代分析测试技术中较为常用的分析手段，用于研究各种材料的微观形貌[1]。扫描电镜也是测试分析中投入比较大的仪器，一旦出现故障，不仅无法正常工作，维修费用也是不可小觑的。维持整个系统的正常运行，要求使用者和管理者不仅要掌握设备的使用，而且要掌握整个测试系统的组成，了解系统中每个辅助设备甚至各部件的作用与组成，才能对运行过程中出现的问题、故障进行分析处理，尽可能地节约时间、降低维修成本，保证系统的正常运行与测试。笔者在工作过程中总结了一些扫描电镜系统中各辅助设备的故障分析及解决方法。

1 扫描电镜系统中各辅助设备的故障分析及解决方法

1.1 不间断电源

鉴于扫描电镜设备价格昂贵，往往在安装使用时需配备不间断电源(UPS电源)。一方面是在供电电压过大或太低时，对设备提供保护，同时当供电中断时，UPS电源中的蓄电池输出的直流电变换成交流电持续给设备供电，避免突然断电给设备造成损害；另一方面配备UPS电源可避免在检测过程中造成试验中断导致数据不完整及数据结果的丢失。

在正常工作中，UPS电源相对来说不容易出现故障，但要特别关注电源中蓄电池的续航能力，以免对设备造成不必要的损害。另外，UPS电源中若出现故障，现象是UPS电源无法启动，往往从两方面查找原因。……