李强 许丁一 李亚径

摘要：合肥維信诺OLED液晶面板厂生产工艺制程冷却水系统，运用冗余型PLC控制系统，设计高可靠性高精度和高稳定性的控制方案，保证制程冷却水PCW的送水温度和压力的稳定。

关键词：PCW;冗余PLC;温度压力

前言：

OLED具有全固态、主动发光、高亮度、高对比度、超薄、低功耗、无视角限制、工作温度范围宽、可实现柔软显示等诸多优点，是新一代显示技术随着国内液晶面板行业的快速发展，越来越高世代的厂房在全国范围内建设。维信诺在柔性AMOLED技术等代表产业未来方向的技术前沿地带积极布局，成功创造多项世界第一，包括全球首款AMOLED全卷曲显示屏、任意弯折柔性屏全模组等柔性产品，最小弯折半径可达到1.6mm，屡次突破柔性显示折叠技术边界。并成为2项柔性显示国际标准的制定者，柔性OLED的技术达到世界先进水平。

OLED面板以及半导体行业中，机台设备运行对生产过程中使用的工艺制程冷却水系统（PCW，ProcessCoolingWater）的压力和温度条件非常敏感，对PCW系统稳定性和可靠性要求特别严格，如何控制PCW系统的温度和压力的将是本次研究的重点。

方案设计依据：

工艺制程冷却水系统（PCW，ProcessCoolingWater）应该保证全天候、全年制造100%符合品质要求的制程冷却水。工艺制程冷却水系统应24小时连续运行，在单台设备出现故障进行维修时，不能影响正常供水。2台/套以上的设备尽量平均分布，并可互为备用，多套设备共用母管进水时需要考虑管道分配器使进水水量满足平均分配。……