赵鹏德,常 琳,李子宽, 范正林

(中昊光明化工研究设计院有限公司 ,辽宁 大连 116031)

1 前 言

全球半导体用电子气体市场中,空气化工、林德集团、液化空气和大阳日酸四大公司控制着全球90%以上的市场份额,形成寡头垄断的局面。在国内市场,海外四大气体巨头控制了我国电子特气市场88%的份额,国内气体公司市场份额合计仅占12%，国内企业占比较低[1-2]。

三氟化硼可用于工业生产中，如有机反应催化剂(酯化、烷基化、聚合、异构化、磺化、硝化等)，是最重要的原材料之一。也可用于半导体领域生产中，在电子产品制程中广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺，是集成电路、液晶面板、LED及光伏等材料的“粮食”和“源”。

在微电子及光电子器件制备过程中，从单个生成到最后器件的组装，几乎每一步、每一个环节都离不开电子气体，电子气体的质量也决定着半导体器件性能的优劣，电子气体纯度每提高一个等级，就会使半导体器件质量飞跃[3-6]。三氟化硼气体中的杂质主要有空气组分以及SiF4、SO2、HF等，以实验室中所用的99.5%(质量分数)BF3气体为例，所含主要杂质为空气，还包括SiF4、CF4、SO2、HF等[6-9]。

2 三氟化硼的物化性质

三氟化硼(Boron trifluoride)又被称为氟化硼，是无色、有窒息性的高毒气体,兼有氟化氢和硼两者的毒性,加热或与湿空气接触会分解形成有毒和腐蚀性的烟雾(氟化氢),与金属、有机物等发生激烈反应,冷时也能腐蚀玻璃。三氟化硼腐蚀眼睛、呼吸道和皮肤,吸入毒烟会导致肺气肿,甚至死亡。……