祝维浩

2021年1月，美光科技宣布批量出货基于1α（1-alpha）节点的DRAM产品，是目前世界上最为先进的DRAM技术，在密度、功耗和性能等各方面均有重大突破。为此，《电子产品世界》记者采访了公司DRAM制程集成副总裁Thy Tran女士。

1 1α节点技术

1α節点DRAM相当于10 nm的第四代，其最小特征尺寸（通常是指内存阵列激活区半间距）在（10～19） nm之间。

要做到这一点，需要大幅缩小位线和字线间距——可以说是收缩网格。为此，美光比以前更积极地实施新制程。美光的创新和创举无处不在：新材料，包括更好的导体、绝缘体；用于沉积的新设备，修改或者有选择地去除、蚀刻这些材料。间距的缩小反过来导致单位电容的大幅增加，这就需要通过创新来满足结构和电气要求。此外，美光还引入了先进的工具和新颖的技术，使图案层之间能更好地对齐。所有这些创新都带来了相互关联的设计和制程挑战。

相比上一代1z制程，1α节点为移动行业的DRAM平台实现了15%的节能。因为通常，当您使用更先进的制程节点时，能效也会有相应的改进。这种效率上的提高使5G移动用户可以在智能手机上进行更多任务操作，而不会牺牲续航。

下一步，美光将继续优化1α节点，以研发更多的产品，扩展产品线，为客户提供更广泛的选择。这包括继续优化产品规格，以支持其他细分市场，包括移动、客户端、汽车和数据中心等。

2 1α节点DRAM的应用

据悉，美光1α节点DRAM首先出货的是面向运算市场的DDR4内存，目前尚未宣布将1α节点用于DDR5的计划，短期内仍将使用1z节点来推进DDR5内存。……