代华斌 秦占阳 王亚磊

摘 要：随着我国半导体激光器制造技术的逐渐成熟，激光器性能批量测试的需求也逐步提上日程。如何将国标半导体激光器测试方法中所涉及的测试内容进行软硬件实现，成为一家激光器制造企业所面临的切实需求。本文基于广东粤港澳大湾区硬科技创新研究院半导体激光器制造过程中的需求，提出了一整套用于半导体激光器自动测试的系统，并进行了软件及硬件实现。该系统严格参照GB-T 31359—2015半导体激光器测试方法，在完成半导体激光器PIV测试及光谱测试相关性能的同时，整机测试节拍可达30 s/个，实现了半导体激光器测试系统的自动化。

关键词：PIV测试；光谱测试；阈值电流；峰值功率

基金项目：广东省科技计划项目（科技创新平台类）高水平创新研究院（2019B090909010）

随着我国半导体激光器制造技术的逐渐成熟，有关半导体激光器的测试的方法逐步完善，国标GB-31359-2015[1]的发布，为半导体激光器的测试提供了指导性的原则。本文参照国标GB-31359—2015所规定的半导体激光器测试规范，提取部分测试参数，表征激光器产品的标准特性。本文将激光器测试项目分为2类，即激光器的PIV特性（包括输出光功率、平均功率、峰值功率、工作电流、工作电压、阈值电流、斜率效率、光电转换效率）以及光谱特性（包括峰值波长、谱宽度、中心波长），测试系统采用LabVIEW软件编写，实现了整个系统的自动测试，在测试完成后实现自动测试报表，为批量生产提供依据。

1 PIV特性测试