宋玲玲，李世鹏，刘金生，宋艳丽 (.新特能源股份有限公司，新疆 乌鲁木齐 80000；.新疆龙腾海泰陶瓷科技有限公司，新疆 伊犁 8500；.阿拉尔中泰纺织科技有限公司，新疆 阿拉尔 8400)

0 引言

随着不可再生资源消耗量的与日俱增，太阳能的利用成为了重要的发展方向。为了有效地利用太阳能资源，需要对太阳能级多晶硅进行规模化生产，并且不断提高制备和生产的工艺，只有这样才能保障太阳能资源被更好地投入使用，从而改变目前多晶硅生产工艺的现状。

1 太阳能级多晶硅生产工艺的技术现状

1.1 改良西门子法

改良西门子法是建立在西门子法的基础之上，提高了生产流程中的闭环效果，使生产尾气能够进行充分的还原。该方法生产多晶硅的步骤如下：首先，需要用到Si和HCl两种物质，将两者投入到还原炉中在一定条件下进行反应，生成产物三氯氢硅(SiHCl3)。其次，需要通过蒸馏的方式对SiHCl3进行提纯，提纯过程中需要注意两点：第一，需要达到SiHCl3的沸点；第二，需要防止混入水分和空气，从而有效地保证SiHCl3的纯度。最后，对SiHCl3进行还原，通常采用气相沉积的方法，在密封环境中进行反应，最终可以得到高纯度的多晶硅。该方法制备多晶硅的成本较低，并且制备的方法较为简单，反应条件也容易实现，是一种可行性非常高的多晶硅生产工艺[1]。TCS西门子法(改良西门子法)优点是安全风险适中，纯度可以达到11N，工艺和设备成熟度高，还原炉易操作，目前成本依然是最低的。缺点是系统较复杂，沉积电耗和综合电耗较高。……