严广和，姜 晨，张勇斌，洪小兰，钱大兵

(1.上海理工大学 机械工程学院,上海 200093;2.中国工程物理研究院 机械制造工艺研究所,四川 绵阳 621900)

随着科技的发展，太赫兹技术已经成为当前一项重要的电子科技前沿技术[1]。但是，太赫兹辐射源的制造难题是制约太赫兹科学技术发展的关键问题[2]。真空电子器件的太赫兹辐射源具有大功率和抗辐照等特点，逐渐成为太赫兹源研究领域的热点。其中，行波管是应用最广泛的真空电子器件[3]，新型折叠波导慢波结构则是目前行波管向太赫兹频段发展所采用的主要高频互作用系统[4]。但是，随着频段的提高，折叠波导慢波系统的尺寸不断变小，精度要求也逐渐提高，传统加工工艺已不能满足实际应用的需求，急需采用现代微细加工技术来提升加工工艺[5]。

在众多微细加工技术中，微铣削加工技术具有高效率和高灵活性等优点，在微细加工领域中被普遍应用[6-7]。微铣削加工也是实现不同材料的微小型和复杂形状零部件加工的最佳方式[8]。在微铣削加工中，随着加工特征尺寸不断减小至数十微米，其表面体积比逐渐增大，使得加工工件的表面质量成为影响工件质量的重要因素[9]。Liu[10]等针对直径0.5 mm的微铣刀铣削钛合金时的加工表面质量做了研究，认为表面质量主要受毛刺和残余切屑的影响。文献[11]中研究了直径为0.7 mm的PCD微铣刀铣削硬质合金时表面形成机理，认为选择最佳加工参数可提高加工表面质量。……