何 杰，马晋毅，胡少勤，许 昕

(中国电子科技集团公司第二十六研究所，重庆 400060)

0 引言

铌酸锂(LiNbO3，LN)晶体是一种集压电、铁电、声光、电光、光折变等性能于一体的人工合成多功能材料；钽酸锂(LiTaO3,LT)晶体的结构跟LN类似，也是一种重要的多功能晶体材料，具有优良的压电、铁电、声光及电光效应。能够满足压电应用的声学级LN/LT晶体可以制备声波谐振器、换能器、延迟线、滤波器等器件，应用于移动通信、卫星通信、数字信号处理、电视机、广播、雷达、遥感遥测等民用领域及电子对抗、引信、制导等军事领域。与其他材料相比， LN和LT晶体在实现高频、大带宽声表面波(SAW)器件方面更具优势。

传统的SAW器件采用LN/LT单晶块材制备，实现的器件品质因数Q值较低且与CMOS工艺不兼容，因而难以实现硅基微系统集成。采用高性能的压电单晶薄膜可有效提高SAW器件的Q值且与CMOS工艺兼容。基于压电单晶薄膜的SAW器件不仅可以通过采用高阻硅作为衬底来提高SAW器件的集成能力，还可通过选择高声速的蓝宝石或金刚石衬底来提高声波的传输速度，并且这些衬底可以提高声波的利用效率。因此，选择合适的压电单晶薄膜和制备工艺是获得高性能、高集成度的SAW器件的关键因素。

采用键合剥离技术制备的LN/LT单晶薄膜(LNOI/LTOI)是一种具有颠覆性意义的声学薄膜材料结构，基于LNOI/LNOT的绝缘体上压电单晶薄膜结构材料(POI)能够为研制更高性能、可集成的SAW器件提供新的解决途径和方案，可满足射频(RF)前端在集成化、小型化发展趋势下对新一代压电声学器件的迫切需求[1-13]，市场应用前景广。……