饶 喾，燕必希，董明利，王 君，孙 鹏

(北京信息科技大学 仪器科学与光电工程学院，北京 100192)

引 言

平面液晶显示面板广泛应用于液晶电视、平板电脑、智能手机、车载显示屏等领域。由于其复杂的生产工艺，液晶面板生产过程中容易产生各种缺陷，其中面形变形会使面板在组装时边缘不贴合，体验感差、产生缝隙而导致进灰、进水等问题，严重影响器件的质量，因此面形的检测至关重要[1]。

面板3维信息测量方法可以分为接触式测量和非接触测量两大类[2]。接触式测量包括模板测量和表面轮廓仪、三坐标测量仪等仪器测量。模具测量需要对玻璃截面进行匹配测量，方法成本高、误差大[3]。三坐标测量仪测量精度高，但是设备体积大，无法进行便携式测量；由于测头一般采用硬度很高的材料，在测量时可能会对被测面造成划伤；而且是单点测量，测量速度慢。非接触式测量主要有激光三角法[4]、飞行时间法、阴影恢复形状法、光度立体法、光栅相位偏折法、立体视觉法。其中激光三角法主要是采用激光线扫描被测物表面获得面型坐标信息[5]，但是由于液晶面板表面的高反射特性，反射的激光光线很难被相机接收。飞行时间法是通过测量光的传播时间来确定物体面型[6]，但是很难达到较高精度，适用于较大测量范围和漫反射表面的测量。阴影恢复形状法是由HORN[7]最先提出，该方法只需要拍摄待测表面在某一特定光照条件下的一副灰度图，利用被测物表面单幅图像中波峰处与波谷处灰度的差异，重建被测物表面的3维形貌，但该方法对高反射表面物体的测量效果并不好。……