李 玄，周双武，路 松，丁冰晓

（1.吉首大学物理与机电工程学院，湖南吉首416000；2.澳门大学科技学院，澳门999078）

随着现代科学技术的快速发展，针对微机电技术、微加工与制造技术、微操作技术和微装配技术等的研究不断深入，现已进入微米级、量子级时代［1］。在光纤对接、激光加工以及微电机系统开发等领域均需要使用高精度微定位平台［2-5］。微定位平台是微定位系统的执行机构，主要由驱动部分和机械传动部分组成，其定位精度直接决定了微定位系统的精度［6］。目前，微定位系统主要有压电工作台型、电热微驱动工作台型以及电磁驱动工作台型等。其中，压电陶瓷驱动器因具有分辨率高、驱动力大和动态特性好等优点，成为了微定位领域应用较为广泛的驱动元件［7］。但是，压电陶瓷驱动器的行程较小且往往伴随多余的寄生运动，导致其驱动的微定位平台在工程上的应用受限。

为了解决这一问题，需借助放大机构来补偿压电陶瓷驱动器的输出位移［8］，以扩大微定位平台的工作空间。常采用的放大机构有桥式放大机构、Scoot-Russel机构和杠杆机构［9］。围绕基于柔性结构的放大机构在微定位平台中的应用，国内外学者做了很多研究［10-11］。例如：天津大学的李政设计了一种用音圈电机驱动的二自由度微定位平台，其具有行程大、承载能力强、完全解耦等优点［12］；西安电子科技大学的王子毅设计了一种柔顺精密二自由度定位平台，并通过有限元仿真分析得到了该平台的固有频率以及对应振型［13］；……