苏燚

摘要：纤锌矿结构的氧化锌纳米棒阵列，同时具有半导体性能和压电效应，在很多领域有着广阔的应用前景。本文选用锌基底上c轴择优取向的氧化锌纳米棒阵列薄膜，利用阻抗分析仪测量该氧化锌纳米棒阵列薄膜的谐振频率，并使用有限元分析仿真软件ANSYS对单根自由氧化锌纳米棒（未加基底）和锌基底的氧化锌纳米棒对锌基氧化锌纳米棒阵列的谐振特性进行分析仿真。

关键词：有限元分析;谐振特性;氧化锌纳米阵列;ANSYS软件

中图分类号：TP391      文献标识码：A

文章编号：1009-3044（2020）23-0218-02

氧化锌纳米棒阵列同时具有半导体性能和压电效应，一种十分有用的压电薄膜材料[1]，在很多领域有着广阔的应用前景，尤其是在光电子学等交叉学科领域中，用于声表面波器件、微机电系统、压电换能器等。氧化锌的晶体结构属六方晶系的纤锌矿型（wurtzite），其c轴方向具有更优异的压电性能。

本文选用锌基底上c轴择优取向的氧化锌纳米棒阵列薄膜，利用阻抗分析仪测量该氧化锌纳米棒阵列薄膜的谐振频率，并使用有限元分析软件ANSYS对单根自由氧化锌纳米棒（未加基底）和锌基底的氧化锌纳米棒对锌基氧化锌纳米棒阵列的谐振特性进行了仿真。

1 有限元分析软件ANSYS

有限元法的基本思想是将结构离散化，是一种对连续结构进行离散化划分处理的数值计算方法，用单元和节点组成有限未知量的近似离散系统去逼近无限未知量的真实连续系统。由于单元和节点的数目是有限的，所以称为有限元法。……