崔 静,张 杭,路梦柯,翟 巍,杨广峰

(中国民航大学机场学院,天津 300300)

1 引 言

飞秒激光因其加工热影响区小,精度高,无需后续处理,加工范围广,几乎所有的材料都可以加工等优点,被广泛应用于精密加工和特种加工领域[1]。飞秒激光诱导表面微纳结构技术涉及光学、物理、材料、化学、生物、信息、控制、机械、纳米科学等学科,为航空[1]、集成电路制造[2-3]、汽车[4]、生物医疗[5-6]等领域实现跨越式发展提供了重要的制造支撑。

Granados Eduardo等[7]在单晶金刚石中通过高度可控的直接飞秒紫外线激光诱导周期性表面制造光子表面结构,实验通过改变激发波长,强度,冲击脉冲数及其偏振态,得到了金刚石光栅结构。Suocheng Wang等[8]通过飞秒激光烧蚀和热氧化的方法,在铜箔上诱导了原位Cu x O纳米结构的生长来增大电容。刘凯军等[9]利用飞秒激光在空气和水中诱导钛合金表面形成不同的周期条纹结构,分析了条纹方向和周期大小随环境介质和能量密度的变化规律,利用表面等离子体和二次谐波以及Sipe理论进行了解释。李志明等[10]对硅材料飞秒激光损伤进行了数值模拟,得到激光能量密度和脉冲延迟时间对热积累效应的影响。许媛等[11]分析了飞秒脉冲激光烧蚀金属的机理,通过建立一维热传导双温方程,得到多光子电离所导致的电子发射和热电子发射对飞秒烧蚀过程的影响过程。张生孔[12]利用飞秒激光制备TiO2纳米薄膜,通过激光诱导击穿光谱(Lanser-Induced Breakdown Spectroscopy,LIBS)技术确定等离子体温度的时间演变特性和电子密度与能量密度之间的关系,得到等离子的演化特性,最后通过实验得到最佳的成膜条件。……