黄德伟，武 伟，王国全，邵廷荣

(成都中光电科技有限公司，成都 610031)

液晶玻璃基板作为光电显示领域的基础材料，一直是影响行业发展的关键。而应力作为液晶玻璃基板的重要品质指标，其大小不仅是玻璃基板产品品位的标志，还对面板的制程有着一定的影响[1]。因此为了更好的满足客户，提高产品竞争力，降低应力一直是玻璃基板生产中亟待解决的课题。

1 理论分析

在玻璃基板的制程中，主要存在厚度方向的厚度应力、玻璃带宽度方向的平面应力、拉引传动及裁切掰断施加的机械应力。厚度方向的应力是由于玻璃带在冷却过程中沿厚度方向不可避免的温度差所引起的；平面方向的应力是由于冷却时沿玻璃带宽度方向温度不均匀引起的；机械应力是由于溢流下拉引板过程中，拉引传动系统、裁切掰断系统，塑造玻璃带在宽度方向呈现出A-Bow形态，改变热应力塑造的形变所附加产生的应力，且A-Bow形态大小随传动系统和裁切掰断系统而呈现波动[2]。以上3种应力共同作用耦合，在制程中表现出永久应力和暂时应力，玻璃带通过退火松弛并降温到室温，经过裁切掰断后的半成品残留的残余应力。

由于溢流下拉法特点，玻璃带通过退火区进行退火松弛的时间一般只有十几秒，相对来说时间短，要求产生的永久应力小和较高退火质量才能得到理想的最低应力。在生产制程中，影响应力的因素很多，其排列组合种类更多，或多或少、或大或小影响着应力。……