路 超 ，任大鹏 ，张德志 ，张厚亮 ，贾 果 ，史 鹏

（ 1. 中国工程物理研究院材料研究所，四川江油621907；2. 上海激光等离子体研究所，高功率激光物理国家实验室，上海201800 ）

通过冲击压缩的精密物理实验[1-3]，可获得材料的冲击压缩状态方程数据、高压相变信息、相图等物理特性，在国防工程、基础科学、核与天体物理、地球物理等领域都有重要意义[4-5]。 由于具有更高的压力及压力调节范围、更高的应变率、更加环保等优势，激光加载已成为一种研究材料高压物性的重要手段。 由于激光加载对实验样品精度要求很高，制备高精度激光状态方程微靶是开展相关激光加载状态方程（equations of state，EOS）精密物理实验的前提和基础。 激光微靶的精度关系着高压数据的可靠性。 传统的EOS 微靶加工一般采用机械磨抛、手工精磨、体视显微镜下的手工装配等流程，其加工效率低下、装配困难、靶型单一、劳动强度大、靶精度低，且对于Ce 这种高活性材料靶的制备而言，会出现严重氧化现象， 影响了EOS 数据的可靠性。随着靶精度的逐步提升，传统的制靶工艺已逐渐不能满足EOS 精密物理实验的需求。

聚焦离子束（focused ion beam，FIB）技术是一种在近年来发展起来的先进微纳加工方法[6-7]，其工艺方法已较为成熟。 FIB 技术能把离子束聚焦到纳米尺寸，可加工微纳尺寸的样品，加工精度可达纳米级别； 结合系统中配备的扫描电镜（scanning electron microscope，SEM）， 可对加工进行全程实时监控，方便控制每一个细节，利于提升加工效率；结合系统中的移动步长为几十纳米的机械手系统，可进行样品转移、阻抗匹配靶装配，其装配精度可达百纳米；……