荆 奇 ，李飘庭 ，张勇斌 ，李 建 ，吉 方

（ 1. 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，四川绵阳 621900；2. 复旦大学光科学与工程系，上海 200438；3. 四川大学制造科学与工程学院，四川成都 610065 ）

随着制造业的迅速发展，带有复杂微小结构特征的零件被广泛应用于航空航天、医疗器械和电子工业等领域。 在许多典型的军事领域，能产生太赫兹波的太赫兹辐射系统具有重要的应用前景。 行波管是一种基于真空电子学的太赫兹辐射源，有着宽带宽、高功率等明显优势。 慢波微结构是行波管的关键组件，随着太赫兹系统工作频率的提高，慢波微结构的特征尺寸越来越小，加工精度和表面粗糙度要求也越来越高，给现有的微细加工技术带来了严峻挑战。

在众多针对微小特征的加工方法中，电解射流加工（electrochemical jet machining，ECJM）技术是一种基于阳极溶解原理的加工方法，有高效、无毛刺、无热影响区和重铸层、无刀具损耗等优势[1]。 在电解射流加工中，电解液通过阴极喷嘴喷射到金属阳极表面进行去除加工，通过控制喷嘴移动而获得各种复杂的微小特征。 电解液束的微小形态决定了电场的集中分布， 从而保证了电解射流加工的高定域性，同时高速的电解液流动能够及时带走电解产物和热量，补充加工区域的电解液，使加工持续稳定进行。 Hackert 等[2]用电解射流加工方法加工出了直径约为喷嘴内径2.2 倍、尺寸高度一致的阵列凹坑，通过控制喷嘴的运动方式得到不同形状、 深度、宽度的孔与沟槽，展现了电解射流加工在点蚀、切割、钻孔和铣削加工方面的可观能力。……