王燕青 ，Md.Milon Mia，贾建宇 ，杨胜强 ，白基成

（ 1. 太原理工大学机械与运载工程学院，精密加工山西省重点实验室，山西太原030024；2. 哈尔滨工业大学机电工程学院，黑龙江哈尔滨 150001 ）

随着制造业的发展， 微型零件的需求日益增加，微细加工成为一个重要的研究领域。 微细轴作为一种微刀具或微电极也是微细加工的重要产品。其中， 微细电火花加工技术因其具有无加工切削力、高精度、可加工难加工金属材料及低能耗等特点，成为了微细加工领域中一种制造微细轴的重要方法。 常用的工艺有块电极电火花磨削加工及线电极电火花磨削加工 （wire electrical discharge grinding，WEDG）。

对于传统的块电极电火花磨削加工方法，由于块电极无法实现精确的电极损耗补偿，所制备的微细轴直径一致性较差。 而块电极电火花磨削切向进给法实现了工具电极损耗的自动补偿，提高了所制备的微细轴的精度[1-2]。 该方法是在块电极切向进给法的基础上， 通过一对相互绝缘的块电极形成窄缝，令旋转的微细轴毛坯通过该窄缝，并通过放电状态检测以放电频率作为控制依据实时调整微细轴相对窄缝的位置，提高了块电极电火花磨削的加工效率，而且简化了微细轴直径的控制过程[3-4]。 但块电极与微细轴放电时，有效加工面积大，加之电火花加工放电随机性的特点，不利于实现更高精度的微细轴直径控制。

对于WEDG， 微细轴与线电极之间为点放电，具有放电能量小、线电极不断更新的特点，可更好地控制微细轴的直径精度[5]。……