郑金宝， 杨 刚， 刘红军， 孟宪圆， 李 强

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0 引言

随着半导体芯片制造业的迅速发展， 芯片测试越来越受到生产厂家的重视， 并且已经成为半导体生产行业中一个不可或缺的重要环节， 所以相关测试设备的设计和制造也得到了迅速发展[1]。探针台是测试环节的一种主要测试设备， 其功能是对二极管晶圆进行整片测试和分选，测试结果准确，测试效率高，已经成为测试环节中不可或缺的设备。

探针台在测试分选的过程中，需要通过打点器对不合格的芯粒进行打点标记， 方便后面的工序对芯片进行分选。打点器的稳定性和操作简易性直接影响芯片测试的准确性和分选效率，所以，针对打点器现存的问题，对打点器的结构进行了研究改进，提高了打点器的使用稳定性。

1 打点器的结构和工作方式

打点器的工作原理是通过电磁铁的运动， 来带动鱼线在墨盒和针头里面运动，通过鱼线的运动带出墨水，墨水被打到指定的位置来标记芯片。 打点器的结构如图1所示。

图示中1 为调节螺钉，可以调节电磁铁的运动行程，进而调节鱼线的伸缩长度；2 为电磁铁，通过电磁铁反复的运动，来控制鱼线在墨斗里面的伸缩；3 为鱼线，鱼线在针头里面的伸缩运动，可以带出墨斗里面的专用墨水，打到需要标记的测试芯片上，用来分选相应的芯片；4 为墨斗， 墨斗用来装载芯片专用的标记墨水；5 为针头，针头用来控制鱼线的伸缩方向。……