金国伟 杜 雄

（上海机床厂有限公司 上海200093）

光学玻璃广泛应用于激光技术、光电通讯、航空航天以及国防工业等领域，从精度方面，要求光学玻璃具有面形精度高（≤0.1 μm）、表面粗糙度（Ra≤12 nm）以及亚表面裂纹少的特点。由于光学玻璃具有硬度高、脆性大的特点，在加工过程中极易产生表面疵病与亚表面损伤，属于典型的难加工材料。对于光学玻璃等硬脆材料，超精密磨削技术是实现超光滑表面的最佳手段[1-2]。

本文介绍了光学玻璃专用平面磨床整机结构中的工作台导轨设计。

1 机床整机设计总体方案

光学玻璃工件一般为长方体外形，上下两个平面为加工表面，因而光学玻璃专用平面磨床整体设计方案采用龙门式卧轴矩台的结构布局方式，加工工具采用具有刚性高的高精度砂轮静压主轴系统。此外，配置了高分辨率测量与反馈系统、高性能数控系统、伺服驱动系统以及在位测量系统，整机结构如图1所示。

机床主要技术规格参数：

工作台面尺寸 1300×500 mm

工作台最大纵向行程 1700 mm

机床加工零件规格 450 mm×1200 mm

机床主轴轴向、径向跳动 ≤0.2 μm

加工表面粗糙度Ra ≤10 nm

加工工件的面形精度（表面平度）PV 3 μm

图1 光学玻璃专用平面磨床结构

2 工作台结构设计

为了保证磨床高刚度和高稳定性，机床床身采用了具有高阻尼、小振动、热稳定性佳等特性的整体花岗岩结构。床身结构如图2所示。

图2 床身结构

基于机床整体性能的考虑，机床工作台面也采用了整体花岗岩结构。工作台结构如图3所示。……