时值冬季，各种美轮美奂的冰雕又要出场，西湖大学科研团队展示了一种“冰雕”绝活儿。他们的“冰雕”，小到微米甚至纳米级别。

在微米甚至纳米级别的“冰雕”上，该研究团队已经可以实现从精确定位到精准控制雕刻力度，再到以“冰雕”为模具制作结构、加工器件——一种新型三维微纳加工系統雏形初现。对应光刻胶，科研人员给这层水冰起名“冰胶”，给冰胶参与的电子束光刻技术起名“冰刻”。

从全球范围来看，冰刻技术的研发仍处于起步阶段。这样的技术，将来有哪些用处？从本质上讲，“冰刻”仍属于电子束光刻。但它作为一种绿色且“温和”的加工手段，尤其适用于非平面衬底或者易损柔性材料，甚至生物材料。目前来看，冰刻技术的应用场景集中在基于光纤、纳米线、纳米管以及二维材料的新型光电子器件制备。

来源：科技日报数字报

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下载日期：2020 - 12 - 10