宋春苗 周超 胡学强

摘要：为提高X荧光光谱仪的准确性和测试灵敏度，本文基于FPGA设计了一套数据采集与控制系统，实现对X荧光光谱仪各个部件系统的控制，以及对探测系统输出的信号及仪器所需的环境变量的实时采集，最终实现对被测样品中元素种类及含量的分析。

关键词：X荧光光谱仪;FPGA;数据采集与控制系统;被测样品;分析

中圖分类号：TH741;TH842 文献标识码：A 文章编号：1007-9416（2020）01-0137-03

X射线荧光光谱仪是通过对样品中不同元素中产生的荧光X射线能量（或波长）和强度进行分析，以获得样品中的元素种类与含量信息，达到定性和定量分析的目的。目前，X射线荧光光谱仪在地质、冶金、材料、环境、工业等无机分析领域中应用广泛，尤其是在无损分析和原位分析方面，X射线荧光光谱仪具有无可替代的地位。

X射线荧光光谱仪由样品交换系统、X射线发生系统、分光系统、探测系统、数据采集系统组成。其中样品交换系统将样品移动到测样位置、X射线发生系统产生X射线激发样品产生X射线荧光、分光系统将激发产生的X射线荧光筛选为待测元素的特征X射线荧光、探测系统将待测元素的特征X射线荧光的能量和强度转变为电信号、数据采集系统对探测系统输出的电信号及仪器所需的环境变量（流量、温度、真空）进行实时采集上传。数据采集与控制系统是X射线荧光光谱仪的关键部件，对仪器的测试准确性和测试灵敏度起着至关重要的作用。本文基于FPGA设计了……