孙 枫，万 静，呙明贤，王兆松，苗江云

（南京邮电大学，电子与光学工程学院、微电子学院，南京 210046）

0 引 言

温度传感器广泛应用于感应测量、生物医学、通信技术、航天技术和工业等领域。传统的接触式温度传感器包括热敏电阻和热电偶传感器。光纤式温度传感器在长距离测温中得到了广泛的应用。李强等人介绍了光纤温度传感器在电力系统中的作用［1］。随着微型器件的发展，微型化逐渐成为温度传感器的发展趋势。

许多传感器是根据滤波原理工作的，例如：法布里－珀罗（Fabry－Perot，F－P）滤波器、马赫－曾德尔（Mach－Zehnder，M－Z）滤波器和干涉膜滤波器等［2］。其中，M－Z滤波器［3－5］由于其结构简单得到广泛的研究。一般情况下，单个M－Z滤波器具有正弦（余弦）平方律的功率传输性能，其3dB带宽较大，品质因数较低。通过级联［6－7］的方式可以提高普通 M－Z滤波器的输出性能。然而，级联明显增大了设备的尺寸，不利于大规模集成。微环作为一种光学谐振腔，由于其良好的选频特性，受到了广泛的关注。其传输性能被很多人研究［8－11］。这些工作为我们的研究提供了理论依据。此外，微流控技术也在微器件中有着广泛的应用，它是一种控制微小体积液体的技术，广泛应用于生命科学和工程科学等研究领域［12－13］。

本文介绍了一种基于微环辅助的M－Z温度传感器，其具有体积小（μm量级）、带宽窄和消光比高等优点，可用于微器件传感领域。将微环腔耦合在M－Z干涉仪［14－16］的一个臂上，对压电陶瓷施加电压，使其由于电致伸缩效应而拉长，通过挤压薄片和薄膜，驱动对温度敏感的液体进入微环，通过分析传感器的输出光谱，即可检测到温度的变化。……