俞朝

摘 要：随着改良西门子法生产多晶硅工艺技术水平和产品产量不断提升，对多晶硅产品的质量要求越来越高，特别是在全球经济复苏缓慢、国际贸易形势依旧严峻复杂、国内太阳能级多晶硅市场持续产能过剩的背景下，发展电子级多晶硅以及区熔多晶硅将成为国内多晶硅企业急需破解的课题。本文简单分析了影响多晶硅成品质量关键因素之一的硅芯质量，并提出了相应的控制措施，希望可以提升多晶硅产品质量。

關键词：多晶硅;硅芯;质量因素

目前国内多晶硅产品质量与12英寸硅片用硅料产品质量对标，国内多晶硅多晶硅料电阻率、施主杂质、表金属仍然存在一定差距。而硅芯质量是影响多晶硅成品质量的关键因素之一。一直以来，多晶硅成品中硅芯周围施主杂质（硼、磷、砷）较多晶硅产品沉积层施主杂质成倍数增长，使多晶硅成品杂质分布不均匀，严重制约多晶硅产品质量的提高。

1 影响多晶硅硅芯质量的因素分析

1.1 硅芯制备过程中带入杂质污染硅芯

目前大多数多晶硅生产厂家硅芯生产方式是将硅芯棒料在硅芯炉中采用垂直区熔法拉制出还原炉可用的圆硅芯，也就是将准备好的直径（40mm-45mm或78mm-82mm）、长度（2m-3m）硅芯棒料，将表面的氧化物腐蚀和杂质清洗后垂直放入硅芯炉中，在保护气体的环境中送入高频电源，通过高频电流加热将籽晶一小部分熔化，熔化液滴将硅芯棒料引红熔化，籽晶与硅熔体熔接在一起……