杨德波，钟 野，毕 芳，樊明雷，张志聪，熊 奇，罗 春，李 伟

(重庆京东方光电科技有限公司，重庆 400714)

1 引 言

目前，尽管OLED显示正在逐步兴起，但以低功耗、寿命周期长、低辐射、低成本的TFT-LCD仍然是目前显示面板行业的主流[1-4]。无论是OLED还是TFT-LCD产品，在整个产品的生产过程中，因其工序多，设备内外的异物不可能100%消除，异物不良就成为显示面板行业的不可消除的顽固性不良[5-6]。随着显示技术的发展，人们对显示的品质要求越来越高，尤其是产品对像素密度(PPI)要求也越来越高，进而制造端对显示屏盒内的异物控制要求越来越严格，工艺制程设备内外的异物控制以及工艺优化日益凸显[7-9]。

本文针对Mobile产品出现的异物不良从点灯现象开始分析，经过显微镜确认异物类型与大小，采用SEM、EDAX、拉曼光谱分析、工艺数据等多种分析手段进行分析确定异物来源，并提出改善方案，有效降低了产品的异物不良率。

2 现象及机理分析

2.1 现象

异物不良为背光和黑画面下可见的发亮的点，主要是产品制程中异物掉落基板表面导致的缺陷，影响异物位置的液晶正常偏转导致发亮。目镜现象如图1所示。

图1 异物目镜现象Fig.1 Eyepiece phenomenon of particle

2.2 原因分析

常见的异物不良来源于人、机、料、法、环，可能的影响因素整合成一张鱼骨图如图2所示。

图2 鱼骨图分析影响因子Fig.2 Influencing factors analysis by fishbone diagram

2.2.1 微观形貌分析和大小分析

选取不同玻璃的不良样品10 Pcs，拆屏后在显微镜下拍照，其显微镜形貌和大小如图3所示。

图3 异物的显微镜照片图Fig.3 Microscopic photos of particle

从图3中可看出，各样品的异物显微镜形貌相似，类似三角形的形貌，大小集中在5 μm×3 μm。……