赵智亮，刘 敏，陈立华，赵子嘉，陈 辉

(1.成都太科光电技术有限责任公司，四川 成都 610041；2.成都精密光学工程研究中心，四川 成都 610041)

1 引 言

随着大尺寸光学元件测试需求的增加，对光学测试技术的研究也随之不断扩展，从最初的泰曼-格林干涉测试技术[1]发展到现在比较成熟且广泛使用的斐索干涉测试技术[2-5]，扩大了检测技术及装置对光学元件的不同测试范围。自美国Perkin Elmer公司研制出第一台斐索型激光球面干涉仪以来，球面干涉测试装置[6-8]的制备与应用研究就受到国内外学者的广泛关注，但仅限于小尺寸光学元件的检测，且测试精度较低。现代球面干涉仪[9]正朝向大口径、高精度和复杂面形的趋势发展，将成为国内外科研人员关注的重点探讨领域。

研究发现，球面干涉仪类型包括立式透射式、立式反射式、卧式透射式和卧式反射式4种，当大尺寸球面元件在实际使用中处于倒置状态时，由于球面元件对支撑精度的要求非常高，故在加工和装调过程中[10-11]，需要保证检测条件与环境一致，即准直物镜和标准球面镜以及标准球面反射镜同时保持倒置状态，这无法保证高精度对准测试。现有技术中，根据测试装置的尺寸检测要求，对球面元件最大测试曲率半径为0～5 000 mm。传统长焦距测试[12]采用凹球面标准检测镜和凹球面标准反射镜，其空腔测试距离较长，占用空间比例大。为满足对大曲率球面光学元件的高精度对准测试，本文设计、研制了一款新型大口径长焦距立式斐索型球面干涉测试装置，选用凸球面标准镜和凹球面标准反射镜形成干涉空腔，大大减小空间测试距离，在光学检测领域具有广泛的应用前景。……