杨 扬，薛小军，牛海波，陈 超

（陕西瑞凯环保科技有限公司，西安 710065）

我国每年因PCB生产而产生的蚀刻废液多达 80万m3，其中多半为酸性CuCl2蚀刻废液[1]。电子信息产业是陕西省的优势产业之一，当地形成了一批如三星半导体（西安）有限公司、华天科技（西安）有限公司、美光半导体（西安）有限责任公司、应用材料（西安）有限公司、西安西岳电子技术有限公司、西安捷盛电子技术有限责任公司、咸阳彩虹光电科技有限公司、信泰电子（西安）有限公司等优势企业，这些企业每年产出大量的电子废弃物，蚀刻废液便是其中一种主要废物。本文以陕西省所产氯化体系酸性蚀刻废液为原料，介绍了一种已成功工业化应用的资源化综合利用技术。

1 氯化体系酸性蚀刻废液的特性

印刷线路板的生产工艺为：覆铜箔板→切板→钻孔→电镀沉铜→干菲林→图形电镀→蚀刻湿绿油→丝印白字→喷锡→镀金→ENTEK→外形加工→终检→包装[2]。

用化学方法去除基材上多余的铜即所谓的线路板蚀刻，蚀刻的体系有：盐酸-氯化铁、硫酸-过硫酸铵、盐酸-双氧水、硫酸-双氧水、盐酸-氯酸钠、碱性氯化铜、酸性氯化铜。其中，酸性氯化铜蚀刻法具有较大的溶解容量，并且操作环境好，被广泛应用于线路板生产[3]。

蚀刻废液的回收方法主要有：回收碱式碳酸铜、回收硫酸铜、回收氯化铜、回收氧化铜、回收氧化亚铜、回收铜粉、隔膜电积再生、置换法等。各种方法可以实现废液中铜离子的回收利用，但普遍未考虑到废液中氯离子的综合利用。……