罗 震，徐剑祥，敖三三，刘为东，李康柏，张 威



阵列微坑的固态微细电解加工工艺试验

罗 震1, 2，徐剑祥1，敖三三1，刘为东1，李康柏1，张 威1

(1. 天津大学材料科学与工程学院，天津 300350；2. 上海交通大学高新船舶与深海开发装备协同创新中心，上海 200240)

针对传统微细电解加工存在的不足，提出了一种固态微细电解加工方法．使用PEO与NaNO3制备固态电解质，其表面用热压印加工出复杂的微细形貌．研究了不同的加工电压、加工时间对于阵列微坑形貌的影响．研究表明在直流加工电压3,V、加工时间20,min的加工参数下，在阳极表面得到了6行6列形状精度较高的阵列微坑结构．固态微细电解加工方法提高了表面精度及加工质量，具有良好的发展前景和研究价值．

微细电解加工；固态电解质；阵列微坑

近年来，随着半导体材料和金属微细零件的广泛应用，工程应用中微细零件、微细结构所占的比重越来越大，对于微细结构的加工提出了更高的要求，微加工技术尤其是微细电解加工技术也得到广泛关注和快速发展[1-3]．阵列微坑结构广泛应用于发动机气缸壁、滑动轴承以及活塞环等摩擦副中，在降低能量损耗，提高发动机密封性等方面发挥巨大作用[4]．但是，传统的微细电解加工技术存在诸如电解液流动导致加工精度下降、复杂阴极结构设计比较困难以及部分电解液成分对生态有一定危害等问题，限制了微细电解加工技术的推广．

固态微细电解加工技术(solid-state electrochemical micromachining)是一种以……