陈焱

（中国共产党滦平县委员会宣传部，河北 承德 068250）

一、电子元器件的可靠性评价

电子元器件的可靠性评价，顾名思义指的是对电子元器件（元器件产品、半成品、样品、设计图形等）通过各种可靠性的评价方法，对其进行评价和测试，运用相关的工具和软件技术来对其质量进行评估。通过对电子元器件的可靠性评价，可以查找出不合格的元器件，从而保证元器件的质量。

（一）晶片级可靠性评价方法

晶片级可靠性评价方法，即WLR评价方法，指的是在芯片的生产中，对芯片的失效模式进行的评价，从根本上提高芯片的可靠性和质量，其中运用的是工艺监测的方式。通过监测数据，可以对集成电路的电子效应能力和与时间有关的击穿的可靠性进行准确的、科学的评价。在热电应力的作用下，对芯片上金属化层上的数据进行检测，通过分析相关数据，来评价系统电路的可靠性。

（二）微电子测试结构可靠性评价的方法

近些年，微电子测试结构在集成电路生产中是常见的工艺监测手段。在可靠性评价技术不断发展的今天，微电子测试结构也作为对集成电路可靠性评价的一种方式，它不仅可以应用在电子产品的研发阶段，还可以应用在生产阶段，在不同的阶段进行不同的可靠性评价。对于不同器件的失效模式，再结合元器件的结构特点，可以设计出不同的微电子结构图形，而这些测试结构图形，不仅仅能够在工艺中进行测试，同时也可以将其进行封装，并施加应力来进行可靠性的试验。……