丛 庆，李福芬，李 扬，曲 庆

(大连大特气体有限公司，辽宁 大连 116021)

0 引 言

氟化工是我国目前新兴的、重点发展的精细化工行业之一。氟化工产品主要包括氟制冷剂、高效灭火剂、含氟塑料、含氟涂料、含氟表面活性剂的原料，还用于生产各种无机盐如氟化铵、氟化氢铵等。随着国民经济的发展，国内对氟化工产品的需求也日益增加，国内外市场的扩大，进一步加快了我国氟化工行业的发展[1]。氟化工产品中涉及的危险化学品种类多、易挥发、毒性高、腐蚀性强，还有火灾、爆炸的危险。许多氟化物在生产过程中，残存的氟气水解或作为生产反应的副产物不可避免的会含有少量的氟化氢，对于某些高纯的氟化物，氟化氢的含量会直接影响产品的质量。工业生产中排出的含HF废气是一种极强的腐蚀剂，有剧毒。它是无色的气体，但是在空气中，只要超过3×10-6(摩尔分数)l就会产生刺激的味道，对周围环境造成一定的污染，并对人体有害。因此，氟化氢的检测成为环境保护的一个重要项目，研制快速、准确、高灵敏度和耐腐蚀的污染源中微量氟化氢气体检测方法具有非常重要的社会效益和经济效益[2]。

关于使用FT-IR对气体中微量氟化氢的检测已有相关报道[3]，但关于其详细进样方法以及进样后进样系统的清洗方法和响应的线性等仍未见报道，而这些工作恰恰是微量氟化氢分析工作中的关键所在。因此，本文对相关工作进行了细致的研究,开发出快速准确的进样方法和进样后的清洗方法，并就FT-IR对微量氟化氢响应的线性进行考察，为微量氟化氢气体的检测工作提供技术参考。……