何勇林 胡志刚

摘 要：本文主要介绍了如何使用雷尼绍XL-80激光干涉仪更加准确可靠地检测和验证数控机床的精度，通过介绍激光干涉仪测量的基本原理、测量的基本条件、有效的减少外界因素影响。根据实际使用经验，提出了利用激光干涉仪检测数控机床精度的具体检测方法及注意事项，确保准确、可靠、快速测量。

关键词：数控机床；机床精度；机床螺距补偿；激光干涉仪

激光干涉仪是一种以波长多为标准对被测长度进行测量的仪器，是由美国HP公司研制成功并于1970年投入市场，广泛应用于线形、角度、垂直度、直线度、平面度等方面，特别是在测量数控机床位置度精度方面用途最为广泛。

一、激光干涉仪的主要功能

（1）螺距误差补偿。激光干涉仪可对机床的精度进行螺距误差补偿，可根据自己设置不同参数来进行螺距补偿，理论上就可以达到越好的精度，新版软件可以针对不同数控系统，安装相对应数控系统的软件包，可自动生成补偿数据表，直接传入数控系统，省去了手动输入。（2）转盘回转精度。通用三轴机床没有旋转轴，对于四轴五轴机床来说，四轴五轴都是旋转轴，我们就要检测它的回转精度，同时也可以对旋转轴的角度进行精度测量及补偿。（3）机床静态动态特性。利用雷尼绍激光检测仪可以很好监测出机床各轴静态性能，我们可以根据监测数据来判断机床系统数据、驱动器参数、电机特性、丝杠及导轨性能进行判断。（4）多轴同步检测与校准。……