合肥京东方显示技术有限公司 奚修兴 李 静 李良实 孙国防 韩海滨 衣洪亮

0 引言

TFT-LCD显示行业的涂布工艺即是将配向液（PI液）均匀的涂到TFT和CF两基板上并固化以达到锚定液晶分子的目的[1]。在PI液的预固化(Pre-cure)过程中，由于不同区域PI液溶剂挥发性的差异，会造成PI液扩散均匀性不佳及PI Halo区域的形成[2]。本文设计了一种新型的预固化方式，即除传统热板热源以外，增加了由大量微型LED灯组成的光源性热源，该光源性热源覆盖整个玻璃基板表面并可以根据玻璃基板上的产品设计变更LED灯的开闭，进而改变其照射图案，同时当玻璃基板上有扩散性Mura[3-5]（Cloud Mura、Pin Mura、周边Mura等）产生时，可根据Mura发生位置选择性的控制光源的亮度，从而降低不良的发生率。总之，通过这两种热源的组合搭配，可消除不同区域PI液溶剂挥发的差异性，从而实现PI液的均匀扩散及扼制Halo区域的形成，最终达到改善膜品质的目的。

1 PI液预固化方式对比

PI液是指显示工艺中聚酰亚胺配向膜的前体溶液，PI液通过预固化和主固化两个过程最终形成可对液晶分子进行锚定配向的配向膜。所谓PI的预固化过程就是将（Inkjet或Coater）涂布好的PI液在一定温度下加热，以实现挥发50%-60%的溶剂并使两种PI成分上下分层的目的。

1.1 PI液现有预固化方式

目前PI采用的是单一的加热板加热的方式（条状的Heater加热），如图1所示，将加热板置于Glass膜面上方，直接通过热传导的方式对已涂布好的PI图案进行加热，烘干PI液的部分溶剂，从而达到预固化的目的。……