伍俏平 郑维佳 邓朝晖 赵 恒

1.湖南科技大学智能制造研究院，湘潭，411201 2.难加工材料高效精密加工湖南省重点实验室，湘潭，411201

0 引言

在线电解修整（electrolytic in-process dressing，ELID）镜面磨削技术的提出有效解决了金属结合剂砂轮在磨削过程中存在的砂轮易堵塞、砂轮修锐困难的问题。ELID磨削技术一问世就受到了许多工业国家的高度重视，并取得了一系列的研究成果：研发出了ELID纳米级精密磨床［1］，实现了ELID磨削过程的计算机监测与控制［2］，开发了ELID专用电源［3］和系列型专用电解液［4］等。

ELID镜面磨削过程中，砂轮表面生成的氧化膜会直接影响ELID镜面磨削的加工性能和加工效率，且在整个磨削过程中始终发挥着至关重要的作用。砂轮表面生成的氧化膜一方面避免了砂轮结合剂与工件直接接触，减弱了砂轮对工件的振动和冲击［5］；另一方面，氧化膜可容纳、承托大量因电解而脱落的磨粒，使得砂轮的磨削类同游离磨粒的研磨、抛光效果，有利于提高磨削表面质量。国内外学者对ELID磨削氧化膜成膜性能及成膜机理等开展了一系列的研究工作。本文综述了ELID磨削砂轮表面氧化膜的研究现状，并对ELID磨削过程中氧化膜的研究重点进行了展望。

1 氧化膜成膜过程及表征方法

1.1 ELID磨削氧化膜成膜过程

在ELID磨削过程中，金属结合剂砂轮为阳极，工具电极为阴极，电解过程中由于阳极溶解效应，砂轮表层的金属基体会被电解去除，同时在砂轮表面会形成一层具有绝缘作用的氧化膜。该氧化膜可以减缓和阻止进一步电解，使电解速度降低，避免砂轮损耗过快。……