曾宪安

摘要：针对洁净空调系统施工要点，深化设计、空间管理、成品保护以及洁净空调系统调试测试等几方面的内容，剖析了洁净空调系统施工过程中需要注意的关键环节及每个环节的控制点或实施方法。

关键词：洁净室；洁净空调系统；深化设计；洁净度测试

随着半导体微电子、光电子、平板显示、太阳能、生物医药等众多行业的高速发展，产品精密度也得到广度发展，随之对生产环境的要求越来越高，洁净度等级也就越来越高。为了获得高质量高洁净度等级的空间环境，洁净系统施工就显得尤为重要。本文就洁净空调系统施工的要点逐一剖析。

一、深化设计

深化设计要充分了解业主的工艺生产环境需求情况下进行，在考虑普通空调专业要求的同时，还要充分考虑到工艺生产环境需求，这就要求深化设计前要充分的与业主沟通，了解其工艺需求，同时翻阅以前建设过的类似厂房的数据，在此基础上对洁净空调系统进行深化设计，在洁净空调系统深化设计时还要充分考虑与之有关专业的深化设计。

（一）洁净室空调系统设计

空调水系统（低温、中温冷冻水系统等）及管路系统设计

洁净室空调机房详细设计、新风机组（MAU）或循环风机（RCU）及干盘管系统、配管组的选型、详细设计

洁净室风管系统设计，FFU（HEPA）系统详细计算、优化比较及布置设计

空调系统变频装置、热回收、自然冷却等节能、优化措施在详细设计阶段的优化

（二）洁净室内装工程设计

洁净室排板详图、墙板安装节点图

吊顶平面图、安装节点详图

FFU（或HEPA）平面布置图、安装节点图

架空地板平面图、安装节点图、施工详图

DCC系统布置图、安装详图、节点图

二、空间管理

空间管理的目的是使各专业管线布局合理、整齐、美观；提前预计到管线相冲突的地方，做到施工时心中有数，避免返工。

（一）空间管理重点

各功能站室，如动力站房、空调机房、纯水站、气体间等。设备定位。各专业综合管线布置。

（二）空间管理原则

满足各行业、专业规范前提下，通常遵守以通风管道为优先考慮对象，有压管道让无压管道，支管让干管，小管让大管，尽可能充分利用空间，管线的布局要合理、整齐、美观。

满足工艺生产布置，做到给每一台工艺设备精确布点，配备各种工艺管路系统，尽量避免各工艺管路系统打架。

三、施工要点控制

完美的设计需要施工来实现和完成，洁净厂房专业性强、技术含量高，施工过程控制尤为重要，下面以制造洁净厂房环境核心的洁净空调系统为例介绍。

（一）施工工序确定

根据项目特点，如空间大小、系统设计、设备采购周期、对环境产生污染程度等编制详细的项目施工工序及交叉作业时间节点，在过程中严格控制，并根据现场实际情况进行调整，以确保施工工序和进度控制完美的结合。

（二）风管的制作安装

1.风管的制作

风管制作过程中要对制作环境、制作工艺严格把关。洁净空调系统风管预制加工要有一处合格的加工车间，加工间内墙壁光滑、不产尘、不积尘，地面及墙体四周200mm以下最好用环氧处理，防止产尘，能够满足洁净度要求。加工设备齐全，所有设备要保持清洁，定期用酒精或无腐蚀洗涤剂清洁。风管加工严格按施工工艺和工序进行，并注意以下几点。风管在制作前要对板材进行去除油污、积尘，制作完成后立即用洁净的塑料布将风管两侧密封存放。风管底部不得有横向接缝，并尽量避免纵向接缝大尺寸规格风管应尽量以整板制作，尽量减少加强筋，必须设加强筋时应采用外部加强。风管所有咬口等连接处必须均匀的打上中性硅胶，要求外表面光滑，防止积尘。加工好的风管必须用中性洗涤剂进行全面的清洗。风管预制加工进度要与现场相符，尽量减少积存量，防止风管损坏和受污染而返工。

2.风管的安装

风管安装过程中要注意以下几点：

安装环境。洁净风管应在现场土建地面、砌筑墙体、墙面抹灰等扬尘作业完成，并且施工区域己封闭后才能进行。风管运输过程中要注意封堵不被破坏，如有破坏要重新清洗封堵，从源头上减少洁净风管系统污染；安装前打开封堵，注意不要大量打开封堵，安装完后要及时将末端进行封堵，防止造成二次污染。

四、成品保护控制

（一）风管洁净防护

风管成品防护：在风管制作、运输及安装过程中要注意风管碰撞，避免因碰撞造成风管局部凹陷，容易集尘，导致洁净度不能达到设计要求。

（二）末端送风装置防护

洁净空调系统用末端送风装置有高效送风口、高效过滤器等，加工周期相长、造价高，由于设计精度高容易造成破坏，对项目工期和成本造成较大损失。

五、洁净空调系统的调试测试

洁净空调系统调试测试是实现洁净厂房环境要求的最后一个环节，系统调试测试要编制详细的调试方案、调试计划，并召开专项会议进行分工定责。洁净空调系统调试、测试包括：风系统测试、高效过虑器检漏测试、洁净室测试。

（一）调试准备

调试测试前必须对洁净室进行彻底的检查，全部符合设计要求，符合施工及验收规范和工程质量检验评定标准要求，包括墙、顶、地及其他专业系统，防止有施工不全、串系统等现象。风管系统的防火调节阀，送风口和回风口的阀板、叶片应在开启的工作状态；空调机，风机单机试运转完好，符合设计要求；准备调试所需仪器、仪表等必要工具。对包括空调机房在内的所有洁净区域进行彻底的清扫，保证环境清洁。

（二）高效过虑器检漏测试

高效过滤器的检漏应使用采样率大于1L/min光学粒子计数器。采用粒子计数器，检漏高效过滤器，其上风侧应引入均匀浓度的大气尘或含其他气溶胶尘的空气。对大于等于0.5μm尘粒，浓度应大于或等于3.5×105PC/m3；或对大于或等于 0.1μm尘粒，浓度应大于或等于3.5×107PC/m。

高效过滤器的检测采用扫描法，即在过滤器下风侧用粒子计数器的等动力采样头，放在距离被检部位表面20-30mm处，以5-20mm/s的速度，对过滤器的表面，边框和密封胶处进行移动扫描检查，在移动扫描检测工程中，应对计数突然递增的部位进行定点检验。

六、结束语

本文结合洁净室和洁净空调系统特点，剖析了洁净空调系统施工中关键控制环节，并详细的阐述关键环节的控制要点和实施方法，与同行分享工作中积累的经验和心得，对同行尤其是年轻人有所帮助和启发。

参考文献：

[1]陈霖新.洁净厂房的设计与施工[M].化学工业出版社，2016.

[2]洁净室施工及验收规范GB50591-2010.