闫思齐 姜苈峰

摘 要：MEMS反射镜由1mm的反射镜板和四个静电斥力致动器构成。MEMS反射镜使用表面微加工工艺PolyMUMPs制造而成，包括四个致动器的MEMS反射镜的整体尺寸是3.5mm×3.5mm，体积非常小。每个执行器可以通过改变施加的电压单独控制。在操作中，改变一个或两个执行器的电压会使镜片朝所需的方向倾斜。

关键词：平视显示器；MEMS反射镜；PolyMUMPs

中图分类号：TN256 文献标识码：A 文章编号：1003-5168（2018）07-0054-02

A Kind of Flat View Display Based on MEMS Reflector

YAN Siqi JIANG Lifeng

（Aviation University Air Force，Changchun Jilin 130022）

Abstract： The MEMS reflector is composed of a 1 millimeter reflector plate and four electrostatic repulsion actuators. The MEMS mirror is made from the surface micromachining process PolyMUMPs. The overall size of the MEMS reflector， including four actuators， is 3.5mm x 3.5mm， and the size is very small. Each actuator can be controlled individually by changing the applied voltage. In operation， changing the voltage of one or two actuators will tilt the lens in the direction required.

Keywords： flat view display；MEMS reflector； PolyMUMPs

為了提高飞行员的飞行作战能力，增加训练时间，减少训练费用，研制地面飞行模拟机就显得极为重要。受模拟机研究经费和视景“视差”的影响，飞行模拟机上无法采用飞机上实装的无穷远聚焦平视显示器，而如何使模拟机上的平视显示器取得更好的、更贴近真实飞机的效果就显得十分重要。在设计模拟机平视显示器时，提出了一种基于微型机电系统的平视显示器，MEMS反射镜在高速控制下反射激光束以显示所需文字或符号，相比以往模拟机上的平视显示器，具有良好的显示效果，更清晰明亮，投影距离更符合模拟机平显要求，不必要的显示杂波也较少。

1 微型机电系统平视显示器原理

模拟机的微型机电系统平视显示器主要由光学投影系统（聚焦透镜、放大透镜和半透射半反射镜等）、平视显示器信息处理器、平视显示器像源以及MEMS控制系统这四部分组成。模拟机的飞行参数及飞行状态，如速度、高度、方向、风速及方向等，按照航电通信协议，通过航电总线传送至平视显示器……